Ezen mozgásvezérlők méretei megegyeznek a MELSEC System Q PLC CPU-kéval, és akár 32 tengely nagy sebességű vezérlésére képesek. Egy többprocesszoros rendszerben legfeljebb három mozgásvezérlő CPU használható, amelyek együttesen 96 tengely vezérlésére képesek.